SEM-Base® VI是主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐商用掃描電子顯微鏡(SEM)以及許多聚焦離子束(FIB)和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有不錯(cuò)的隔振性能、控制器和圖形用戶界面(GUI)。
SEM-Base VI采用“串行結(jié)構(gòu)”,其中的振動(dòng)傳感器測(cè)量地面振動(dòng),而不是有效載荷振動(dòng)。可以讓有效載荷共振不會(huì)限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動(dòng)傳感器是低頻慣性速度傳感器,結(jié)合壓電致動(dòng)器技術(shù),SEM-Base VI在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)良好的消振水平。
TMC的控制器DC-2020采用了雙核處理器,有簡(jiǎn)單易用的圖形界面,可完成系統(tǒng)評(píng)估和安全操作。通過(guò)以太網(wǎng)連接時(shí),DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI,無(wú)需安裝其他軟件或應(yīng)用程序。此外,用戶也可以通過(guò)板載菜單驅(qū)動(dòng)的液晶顯示器(LCD)與控制器連接。
硬安裝技術(shù)- SEM-Base VI與內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容,可以從0.6 Hz開(kāi)始主動(dòng)減輕低頻地面振動(dòng)。
主動(dòng)慣性振動(dòng)消除- SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器,即使在安靜的地面上也能振動(dòng)衰減。
采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì)- 串行設(shè)計(jì)和高力壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開(kāi)始減振90%的慣性主動(dòng)振動(dòng)消除性能。
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主動(dòng)自由度 |
6 |
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主動(dòng)帶寬 |
0.6 Hz - 100 Hz |
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被動(dòng)固有頻率 |
標(biāo)稱值為12 Hz |
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有效的主動(dòng)共振頻率 |
0.5 Hz |
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1 Hz時(shí)的隔振 |
40% - 70% |
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2 Hz時(shí)的隔振 |
90% |
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≥3 Hz時(shí)的隔振 |
90 - 98% |
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內(nèi)部噪音 |
<0.1 nm RMSd> |
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工作負(fù)載范圍 |
標(biāo)準(zhǔn)承重能力:900
- 2,500磅(408 -
1134千克) |
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磁場(chǎng)發(fā)射 |
<0.02 μG broadband RMSd> |
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環(huán)境和安全 |
符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn) |
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主動(dòng)隔振元件 |
最小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號(hào),其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷 |
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被動(dòng)隔振元件 |
單個(gè)硬彈性體(無(wú)需壓縮空氣源) |
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振動(dòng)傳感器元件 |
向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于 |
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主動(dòng)反饋控制回路 |
在支撐隔振表面的彈簧 |
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尺寸(寬x深) |
35.25
x 44.25英寸 |
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高度 |
標(biāo)稱6.3英寸(160毫米), |
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工作溫度 |
50° -
90° F |
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儲(chǔ)存溫度 |
-40°
- 130° F |
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濕度 |
80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C |
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系統(tǒng)電源要求 |
100、120、230、240 VAC |
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地面位移 |
<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd> |
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處理器 |
150/75 MHz雙核 |
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采樣率 |
10 kHz |
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模擬輸出 |
16個(gè)通道 |
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模擬輸入 |
16個(gè)通道 |
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狀態(tài)燈 |
單個(gè)LED |
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前面板端口 |
1個(gè)串行USB 2.0 |
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用戶界面 |
前面板液晶顯示屏 |
使用VC-C(500μ英寸/秒,12.5μ米/秒RMS)的模擬振動(dòng)來(lái)測(cè)試1800磅(818千克)有效載荷
請(qǐng)咨詢我司







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