STACIS® III是一種靈活的主動隔振系統(tǒng)。STACIS采用先慣性振動傳感器、控制算法和壓電致動器,通過連續(xù)測量地面活動,然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動,以實時消除振動。
STACIS最初設(shè)計用于隔離先進半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設(shè)備,現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境(包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實驗室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心)中敏感儀器的行業(yè)解決方案。
STACIS III包括一個改進型數(shù)字控制器DC-2020。這款控制系統(tǒng)在前后面板上采用了雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口,為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面(GUI)。STACIS在全球已擁有數(shù)百個成功的安裝案例,適用于對振動敏感的儀器。
STACIS比空氣隔振器硬,沒有空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒有“軟”懸架,與主動空氣系統(tǒng)不同,STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動空氣隔振系統(tǒng)的工具下方,使兩個系統(tǒng)都在好的狀態(tài)下運行。
串行設(shè)計和高力壓電技術(shù)
可實現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90%的主動隔振性能。
使用VC-C(500μ英寸/秒,12.5μ米/秒RMS)的模擬振動來測試4500磅(2045千克)有效載荷
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主動自由度 |
6 |
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主動帶寬 |
0.6 Hz - 150 Hz |
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被動固有頻率 |
18 Hz垂直和水平 |
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有效的主動共振頻率 |
0.5 Hz |
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1 Hz時的隔振 |
40% - 70% |
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≥2 Hz時的隔振 |
≥90% |
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10磅(4.5千克)步進輸入后的穩(wěn)定時間(減少10:1) |
0.3秒 |
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內(nèi)部噪音 |
<0.1 nm RMSd> |
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每個隔振器的工作負載范圍 |
低承重能力:400
- 1100磅(182 -
500千克) |
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剛度(1000磅/ 454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器) |
40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
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從距離隔振器最大4英寸(102毫米)處發(fā)射的磁場 |
<0.02 μG broadband RMSd> |
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環(huán)境和安全 |
符合CE和RoHS標準 |
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主動隔振元件 |
最小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號,其輸出高達800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷 |
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被動隔振元件 |
單個硬質(zhì)各向同性彈性體(無需壓縮空氣源) |
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振動傳感器元件 |
向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于測量隔振器下方的地面振動,并提供與振動運動速度成正比的電壓 |
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主動反饋控制回路 |
在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動 |
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隔振器尺寸(寬x深x高) |
11.75
x 12.5 x 10.8英寸 |
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隔振器重量 |
75磅(34千克) |
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工作溫度 |
50° -
90° F |
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儲存溫度 |
-40°
- 130° F |
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濕度 |
80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C |
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系統(tǒng)電源要求 |
100、120、230、240 VAC |
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地面位移 |
<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
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每個系統(tǒng)的隔振器數(shù)量 |
至少3個 |
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可選附件 |
層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調(diào)平裝置、抗震裝置、提升罩 |
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尺寸(寬x深x高) |
19 x
8.5 x 1.75英寸 |
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重量 |
6.3磅(2.9千克) |
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處理器 |
150/75 MHz雙核 |
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采樣率 |
10 kHz |
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模擬輸出 |
16個通道 |
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模擬輸入 |
16個通道 |
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狀態(tài)燈 |
單個LED |
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前面板端口 |
1個串行USB 2.0 |
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后面板端口 |
1個串行USB 2.0 |
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用戶界面 |
前面板液晶顯示屏 |
https://www.techmfg.cn/products/stacis/stacisiii










