V-305 系列是納米級(jí)定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)Z 向平臺(tái)，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻、檢測(cè)和封裝、外形輪廓測(cè)量、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測(cè)序等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。
V-305 升降臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊小巧，但是有較高的定位精度，配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，V-305升降臺(tái)的在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)量可以小于5nm，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻、檢測(cè)和封裝、外形輪廓測(cè)量、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測(cè)序等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。
